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晶瑞電材高端KrF（248）光刻膠已完成中試已進入客戶測試階段

2021-12-17 11:11:27 來源：愛集微

近日，晶瑞電材在接受機構調研時表示，公司高端 KrF(248)光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進入客戶測試階段。

目前 ArF(193)高端光刻膠研發工作已正式啟動，已完成光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等設備購置，其中 ASML1900Gi 型光刻機設備正在積極調試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。

據悉，晶瑞電材近期已購得 KrF 光刻機一臺，可用于 KrF 光刻膠的曝光測試，同時公司 KrF 光刻膠量產化生產線正在積極建設中。此前，公司已經購得用于負膠、g 線、i 線、ArF 等 4 臺光刻機，再加之此次購得的 KrF 光刻機，公司已經到位 5 臺光刻機。

晶瑞電材指出，公司 3 萬噸電子級硫酸產線已于今年上半年順利通車，經試生產調試，產品金屬雜質含量低于 10ppt，達到 G5 級水平，品質已達全球同行業第一梯隊水平，產品技術指標可以履蓋目前全部先進集成電路技術節點的要求。目前，公司正在積極開展客戶論證測試，市場反應良好。現有 3 萬噸硫酸項目的順利建設為二期 6 萬噸硫酸項目的順利實施提供了基礎和保障。二期 6 萬噸電子級硫酸項目已啟動，項目的建設期為 12 個月，當前已取得環評審批。

新能源方面，晶瑞電材認為，公司是一家微電子材料的平臺型高新技術企業，圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向，努力打造為集研發、生產、檢測、銷售、技術支持于一體的國際知名微電子化學品制造企業，公司鋰電池材料主要產品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、電解液等。當前公司鋰電池材料產品產銷兩旺，根據公司戰略發展規劃，為進一步推進公司產能布局，滿足市場迫切需求，鞏固行業領先地位，公司全資子公司晶瑞新能源擬使用自籌資金投資建設年產 5 萬噸 NMP 項目。

目前，晶瑞(湖北)微電子材料項目一期目前正在設備安裝調試階段。

受益于我國半導體材料行業國產替代進程提速，下游芯片廠商需求增長，當前公司主導產品半導體級光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料等產銷兩旺，未來隨著公司 KrF 光刻膠測試完成并逐步量產、ArF 光刻膠研發成功并最終量產，以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產品產能的逐步釋放，有望成為公司新的利潤增長點。

未來，公司將持續發揮主營業務的優勢，圍繞泛半導體和新能源材料方向，繼續通過內生增長和外延并購，將公司打造成產品種類全、技術水平高，具有國際競爭力的微電子化學品生產企業。關于并購方向，公司依然圍繞主營業務開展。

關鍵詞：晶瑞電材高端KrF 光刻膠中試客戶測試階段